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機能性無機膜開発技術と応用

Functional Inorganic Films -New Technologies and Applications

★2006年刊「機能性無機膜の製造と応用」の普及版!

機能性無機膜開発技術と応用
商品コード：
B0975
監修：
上條榮治
発行日：
2011年09月
体裁：
A5判・305頁
ISBNコード：
978-4-7813-0359-8
価格(税込)：
5,060 円
ポイント： 46 Pt
関連カテゴリ：
テクニカルライブラリシリーズ(普及版)
個数：

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著者一覧

上条栄治
大平圭介
松村英樹
青井芳史
横尾俊信
林信博
横井伸
牛神善博
寺山暢之
安岡学
玉垣浩
岩井啓二
鈴木巧一
西村芳実
中山明
山田羊治
青木正彦
吉田謙一
横山勝昭
宮崎恵
小川倉一
南内嗣
岡本昭夫
草壁克己
垰田博史
岩本雄二
笠井義則
金井敏正
岡本俊紀
茶谷原昭義
中東孝浩
山本兼司


執筆者の所属表記は、2006年当時のものを使用しております。

目次 + 　　クリックで目次を表示

第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法　CVD法 ほか)
第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置
　　　反応性プラズマ蒸着装置 ほか)
第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造
　　　薄膜の密着力および内部応力 ほか)
第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用
　　　シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか)
第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品
　　　プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか)